آزمایشگاه لایه نشانی
لایه نشانی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی (PVD)
لایه نشانی طلا، نقره، پلاتین، مس، آلومینیوم، کروم، تیتانیوم، مس، تنگستن، TiO2، TiN، CuO و ...
نرخ لایه نشانی 1 آنگستروم و دقت اندازه گیری کمتر از نانومتر
قابلیت اندازه گیری آنلاین ضخامت و آهنگ رشد لایه
قابلیت چرخش زیرلایه
فشار پایه torr 5-10
لایه نشانی دورانی (Spin Coating)
سرعت چرخش 100 تا 10000 دور بر دقیقه
ابعاد نمونه 7 در 7 سانتی متر